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金屬污染物在線監(jiān)測

萊伯泰科的 ICP-MS 產(chǎn)品可與多家供應商的自動化在線半導體制程化學品監(jiān)測系統(tǒng)集成尤泽。在化學品供應中心懊据、分配過程以及使用過程中朝财，對制程化學品中的金屬雜質(zhì)進行監(jiān)測。實時在線監(jiān)測能夠在工藝的各階段迅速檢測到金屬污染，從而完成快速評估正等待從貯罐卸載的化學品的質(zhì)量的檢測和生產(chǎn)需求樊颁。

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