萊伯泰科《硅片表面金屬離子國產(chǎn)檢測儀器首創(chuàng)項目》獲中國檢驗檢測學會科學技術獎

發(fā)布時間：2024-03-19 09:38

近期法简，“2023年度中國檢驗檢測學會科學技術獎”獲獎名單公布膜毁，北京萊伯泰科儀器股份有限公司（簡稱“萊伯泰科”）憑借其《硅片表面金屬離子國產(chǎn)檢測儀器首創(chuàng)項目》榮獲科學技術進步獎二等獎后添。

該獎項由中國檢驗檢測學會設立，旨在表彰那些在檢驗檢測科學技術領域或相關領域蛙讥，通過技術發(fā)明锯蛀、科技進步、國際科技合作等活動次慢，對推動檢驗檢測科學發(fā)展做出顯著貢獻的組織和個人旁涤。

萊伯泰科于2021年5月和2023年3月分別推出了自主研發(fā)的LabMS 3000電感耦合等離子體質譜儀和LabMS 5000電感耦合等離子體串聯(lián)質譜儀，其技術成熟度與產(chǎn)品可靠性已經(jīng)滿足國內集成電路制造企業(yè)對28nm以上制程硅片表面金屬離子檢測的需求经备，并已成功應用于半導體晶圓制造企業(yè)育另，在半導體行業(yè)有了巨大突破。

萊伯泰科此次獲獎的《硅片表面金屬離子國產(chǎn)檢測儀器首創(chuàng)項目》成功解決了國產(chǎn)儀器在此領域的技術空白瞒脆，有望打破國外技術的長期壟斷衷谋。該項目依托先進的ICP離子源技術、加強的離子傳輸系統(tǒng)和基于CAN總線的電控系統(tǒng)纺闷，實現(xiàn)了儀器的高效穩(wěn)定運行及精準檢測榜寸，滿足了半導體硅片行業(yè)對極低檢出限的嚴苛要求。

憑借在電感耦合等離子體質譜技術領域的豐富創(chuàng)新經(jīng)驗需复，萊伯泰科一直致力于為半導體行業(yè)提供更加精準怠竞、高效的解決方案。今天的榮譽標志著萊伯泰科在科技創(chuàng)新道路上達到了新的里程碑拓郑。未來哨遭，萊伯泰科將繼續(xù)專注于高端科研設備的研發(fā)，努力推動科學儀器技術的持續(xù)進步节霸，為行業(yè)的發(fā)展貢獻自己的智慧和力量骑跳。

上一篇：整體解決方案+全方位客戶服務——萊伯泰科助力大規(guī)模儀器設備更新下一篇：秘籍分享 |《實驗室狂人憑啥狂》系列第三集——超級微波消解篇